第1157章 光刻机瓶颈!缺核心刀 (第2/3页)
大的隔离窗前,苏定平双臂抱胸,眉头紧锁,浓得化不开的愁云笼罩在他年轻却已略带疲惫的脸上。
他身边站着几位满头银发或者两鬓飞霜的核心专家团队负责人——王教授、李老、赵总工,个个面色沉凝。
展现在他们面前的,不是胜利的徽章,而是两道令人窒息的技术天堑!
左边巨大的工作台上,整齐码放着一片片如同黑色镜面般幽深、边缘闪耀着锐利切割光芒的圆形晶圆。
那正是举国之力突破、代号“昆仑胎玉”的12英寸超高纯单晶硅片!
它们质地均匀,几乎看不到任何杂质点,如同最纯净的黑水晶,代表着龙夏在芯片基础材料领域硬生生凿开了西方坚壁的第一步!旁边的良率统计仪表盘上,赫然显示着一个足以震惊世界、红得耀眼的数字——92%!
右边的工作台上,几只精致的水晶瓶子静静伫立。瓶子里的液体,颜色各异,有的是淡淡的琥珀色,有的接近透明,有的则如同流淌的紫玉髓。
这就是龙夏在光刻技术领域实现惊世突破的另一根支柱——“蚀影”光刻胶!旁边是密密麻麻的实验数据图谱和一排排闪烁着微光的控制单元。实验室中央的巨大浸没式分步重复投影光刻样机正在安静地演示着。
激光透过高级数值孔径透镜投射到涂胶晶圆表面,在精密控制的水膜浸没环境下。旁边的实时显示器上,赫然生成了一条条精细的结构线条,分辨率测定结果在7nm的标尺附近稳稳跳动!
这代表龙夏的“蚀影”胶+浸没式工艺组合,硬生生将ArF光源的潜力挖尽,达到了足以媲美昂贵且被严禁出口的EUV光学系统的精度!从理论到小规模流片验证,这条路被走通了!
这任何一项成果单独放出去,都足以震动整个全球半导体产业,引发科技版图的大洗牌!
它们本该是实验室里疯狂庆祝的资本。
然而……
所有人目光的焦点,都汇聚在实验室中心那一片空旷的区域。
那里停着一台庞大而精密的机械设备框架,但关键的部位——核心光源模组和最重要的物镜镜头组,却被巨大的真空防尘罩小心翼翼地笼罩着。
透过罩子的窗口,能看到框架中本该放置最核心“工具心脏”的位置,只剩下一些接口和精密的机械臂基础,还有几根用于测试信号的光秃秃光纤探头延伸出来。
它像一具失去了引擎和翅膀的空壳机甲巨人。
“基础有了!尖端材料昆仑胎玉,我们有了!世界级的光刻胶和工艺突破蚀影,我们也做出来了!”
王教授指着左右两项成果,声调并没有自豪,反而充满了苦涩和不甘,他使劲拍了一下身旁冰冷的设备基座。
“可光刻的心脏呢?!
这颗能将我们在图纸上的设计、将硅基材料上的蚀影胶刻蚀成实际电路的雕刻刀在哪里?!没有光刻机,这些顶级硅片,这些神乎其技的光刻胶,就是最顶级的原材料和最好的墨水!没有笔!没有笔啊!!”
李老布满老年斑的手紧紧握着拐杖头,声音低沉得像是从牙缝里挤出来。
“西方那群混蛋,是铁了心要把我们摁死在28nm这条线下!EUV?别说整机、核心部件!连颗关键螺丝,一支配套的镜头清洗液都要加进限制名单!至于DUV?哼,老黄历!
他们最新的禁运清单连十年前的高端型号都涵盖了!连租用!连维护服务都一刀切!
摆明了就是不让你有任何可能去复制,去摸索,去积累起那该死的光源控制、超精密镜头制造、工作台双工件台高速协同控制等等我们短时间难以攻克的核心技术和工程经验!”
系统总工赵老更是重重一拳砸在旁边的控制台上,发出“砰”的一声闷响。
“巧妇难为无米之炊!没有光刻机,你让我们用什么去刻蚀出7nm、5nm甚至3nm的芯片?靠想象吗?!
烛龙电站的核心控制芯片指标,尤其是对聚变堆等离子体湍流的超高精度、超高速度实时预测与场协同控制系统,没有顶级的、大规模集成的超
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