第1161章 激光器图纸！神迹降临 (第2/3页)
能”的ASM公司某位高管，其个人社交媒体瞬间被各种“您怎么看？”
的嘲讽性评论淹没。ASM公司本部骤然紧张，紧急召开了闭门会议。
“查！立刻查清他们的突破点到什么程度！”
ASM的总裁脸色铁青，重重地拍着桌子。
“那批激光器的图纸……他们难道真的完全吃透了？甚至超越了？”
技术主管匆匆调出通稿里模糊的技术参数影子，脸色极其难看。
“按照描述……他们很可能绕开了我们最核心的几项技术专利壁垒，甚至走了更高效的路线……”
“专利壁垒是纸糊的吗？”
总裁咆哮道。
“立刻！马上启动下一代产品的技术迭代研究！我们不能有一丝一毫的松懈！”
他冰冷的目光扫过会议室角落，那个曾公开发表言论的高管面如死灰。
“你，去人事部办手续吧。”
会议室里，死一般的寂静。
西方部落的技术封锁阵营内部，第一次真切地感受到了来自东方的压力，那不再是虚无的豪言，而是带着金属轰鸣的脚步声。
“盘古”的算力升级初步完成。实验台上，升级后的人工智能系统，高速分析着无数次失败实验的海量数据。虚拟屏幕上，锡液喷射、成形、被撞击的模拟过程不断迭代，速度之快远超人类想象。
它开始尝试构建更精妙的控制模型，调整喷射头内部压电陶瓷的微震频率、气体流速等等细微参数。
虽然离真正稳定长效的输出还有距离，但失败的间隔显著延长了。
那绿色的代表锡流稳定性的曲线，像一颗开始艰难学习站立的心脏，颤动中带着向好的生命力。
“成了！”
一次实验结束后，监控员猛地跳了起来。
“二十五分钟！
这次稳定输出了二十五分钟！”
小团队的区域内响起了压低的欢呼。
虽然时间还不够，虽然问题依然重重，但这证明了人工智能辅助优化这条路的正确性，点燃了新的希望。
袁涛狠狠锤了一下手掌，转向郭雪云。
“老郭！光来了！虽然只亮了二十五分钟！”
郭雪云紧紧攥着拳头，指节发白。
“方向没错！稳住，继续让盘古优化！数据！喂给它全维度的数据！”
锡微滴难题，似乎看到了一丝曙光，但那也只是光源系统这座大冰山显露出的一角。
新的风暴接踵而至，而且同样棘手。
“反射镜的镀膜检测结果出来了……”
负责镜片测试的陈工拿着报告单走进苏定平的临时办公室，声音干涩。
“……精度……远远达不到要求。”
苏定平的心猛地一沉。
作为将脆弱易散的极紫外光多次反射聚焦的关键核心部件，整个光刻机系统需要数十面这样的超高精度反射镜。
每一面，都需要在基础基材上镀上多达十四层的特殊光学薄膜！层数多只是一方面，关键是每一层薄膜的厚度误差必须小于0.1纳米！
这是一个让普通显微镜都失去意义，让大部分机械加工望尘莫及的精度。
“我们自己尝试的几批次，误差都在几十个纳米甚至百纳米级别，最好的也超过了设计要求十倍以上。”
陈工的声音充满无力感。
“这种精度……已经接近材料的物理极限和控制的极限了。
苏总工，我们现有的设备和工艺积淀，短期……几乎不可能！”
苏定平看着报告上刺眼的检测数据，沉默了十几秒。
他何尝不知其中的难度？这本身就是EUV光刻机最难啃的骨头之一，与光源、工作台并称三大核心壁垒。
他那份神奇的“图纸”，其关于反射镜镀膜的真正技术篇章，如同被上了层层枷锁，纹丝不动。
唯一的曙光，似乎指向了国际领先、几乎被日耳曼部落蔡司公司垄断的磁控溅射镀膜技术和与之配套的超精密检测工艺。
“陈工，继续组织我们的人，利用现有的条件，尝试各种可能的工艺改进方案。”
苏
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