701 解决难题 (第2/3页)
嘘之意，顾北舟一拍脑袋，转身从包里掏出早就准备好的文件。
“江姨，您之前提过，我们正在攻关的第五代深紫外光刻机目前卡在了两个相互关联的核心难题上。”
顾北舟将文件递过去，神情庄重又严肃。
“第一个是光源的功率和稳定性问题。”他指着文件上的图表，“我们的激光等离子体光源，在产生极紫外波段的光时，转换效率极低，且输出功率波动较大，难以满足高强度、长时间晶圆曝光的需要。功率不足直接导致曝光时间延长，良品率下降；而功率不稳则会在晶圆上形成难以预测的缺陷。”
“第二个，也是更加棘手的是随之而来的热管理和热变形问题。”顾北舟翻到下一页，上面是复杂的热力学模拟图，“高功率激光轰击锡滴产生等离子体的过程，会释放巨大热量。这些热量不仅对收集光学元件的涂层寿命是严峻考验，更关键的是会引起光学系统乃至整个工件台的微观热变形。哪怕是纳米级别的形变，也足以让光刻精度前功尽弃，导致线路模糊或错位。目前我们的冷却系统效率根本跟不上热积累的速度。”
江岚的神情逐渐凝重起来，这的确是困扰她团队数月、让她寝食难安的核心瓶颈。
顾北舟点出的这些不仅准确概括她遇到的难题，还意识到了连锁反应的严重性。
江岚意识到，能分析到这一步，恐怕顾北舟是真的研究出了什么不得了的成果。
她迫不及待得身体前倾着急询问：“那你提出的解决思路是？”
顾北舟从容得翻到文件后方解决方案的部分：“针对光源问题，我设想了一种多级预脉冲激光优化方案。通过调整主脉冲激光之前的一系列微弱的预脉冲序列，可以更精确地控制锡滴的形状和分布，使其在受到主脉冲冲击时，能更高效地转化为理想的等离子体状态，理论上可以提升约15%的光源功率和显著改善稳定性。相关
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