第597章 纳米压印冷刻机 (第3/3页)
差,还会损伤压印模板,模板使用受限,50-100次就会损毁。”
“我们的一个成员,在逆推12英寸浸没式光刻机的过程中,巧合地突破了纳米晶金光石技术。”
“里维斯对这项技术很感兴趣,在对它的研究中,灵光一闪,想到了快被世界遗忘的纳米压印技术。”
“经过多次推算验证,并且申请了中科院的超算进行模拟,得到冷刻的可行性,当时向你汇报,邀请你来商议,你的答复是自主决定。”
他看向李修吾。
李修吾回忆了一下,当时自己好像在深市,邱连海邀请他去一趟,他当时因为镁合金实验室的事情没有去,潘磊回去也提过这件事。
“我们的冷刻技术,在低温环境中进行压印,使用紫外LED阵列,对芯片进行室温固化。”
“模板是实验室合成的纳米晶金光石,它在常温下坚固,长时间使用不发热,搭配我们自主研发的自组装抗粘性涂层,使用频次能达到5000次。”
邱连海自豪地介绍着眼前的庞然大物。李修吾听得似懂非懂,但明白,这其中有很多是实验室突破性技术的应用。
“目前生产芯片能达到什么水平?”
“110纳米能实现量产,90纳米只能小规模生产,正在调试,理论上可以做到量产,但还有一些难题需要解决。”
邱连海推了推眼镜,“虽然他和国外12英寸浸没式光刻机,还有很大的技术差距,但我们的纳米压印冷刻机,走的技术路线和浸没式光刻机不同。”
“我们完全掌握了冷刻压印的核心技术,后续迭代只是时间和投入的问题。”
“好。”李修吾只说了一个字,但语气中的满意谁都听得出来。
“超算也帮了大忙,很多过去要反复试错的东西,现在直接模拟运算,节省了大量的研发时间。”
邱教授说完而后看向李修吾:“还有老板提供的小悟道丹,很多技术的突破,都是那么一瞬间的灵感。”
“如果能提供更多,我们有把握在三年内将冷刻机技术推进到32纳米,追赶上浸没式光刻机的技术。”
李修吾笑而不语,小悟道丹,他也想量产,问题是无法量产。
这么一想,引进南韩女艺人的想法,似乎可以尝试一下。