第598章 冷刻机的优势 (第1/3页)
“我们的冷刻机有什么技术上的缺点？”他冷静询问。
邱连海也收起了脸上的激动。
“还有很多待解决的问题，目前最主要的有两个。”
他看着玻璃房内的无尘实验室，各种线路裸露，看上去非常粗野。
“母版的制作，依赖光刻机，我们需要先用光刻机，对母版进行光刻，目前我们应用的光刻机，只能在实验室完成65纳米的母版制作，想要更先进的母版，就必须用上它。”
邱连海指着背后另外一个无尘车间。
他的脸上有那么一丝的尴尬，这涉及到先有鸡还是先有蛋的问题，没有光刻机，就无法完成母版的制作，制作不出母版，压印技术是个笑话。
李修吾错愕了一下，回头看着那台拆开一半的12英寸光刻机。
他沉默了一下说道：“有用的就先用着，可以边应用，边攻克。”
李修吾没有技术洁癖，必须自己攻克，不管谁家的技术，他都愿意使用。
“第二个大的问题是，冷刻机需要的无尘等级，要比光刻机高两个等级。”
邱连海继续说出冷刻机的缺点：“和光刻机的无接触激光雕刻不同，而我们的冷刻机是压印技术，是有接触的芯片制造，就像活字印刷，任何一丝微尘附着，都会体现在芯片上，导致芯片全部损毁。”
李修吾点头：“要求严格没有问题，只要能突破技术的封锁就可以。”
“还有未来发展中，存在的拦路虎，目前我们遇到多层累积误差，高宽比脱模等问题需要攻克。”邱连海又介绍了几个问题，不过那都是向45纳米芯片研发的阻碍。
“虽然缺点名店，但我们的冷刻机，想不光刻机也有巨大的产能优势。”
“压印冷刻，就像活字印刷，只要模板不出问题，晶圆片不出现形变，我们的量产速度，是光刻机的几倍。”
“传统的纳米压印因为是热压，晶圆片会在遇热环境下形变，模板的复用性也很差。”
“我们
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